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発表資料

オルガノが学会、研究会などに発表・投稿した文献を紹介しています。

発表資料

電子産業分野

Boron and Metal Removal Technology from PGMEA and NMP

媒体 発表
学会・活動名 SPIE2025 Advanced Lithography + Pattering
発表者 久野智子
日時 2025/2/27
要旨 電子材料精製において、ホウ素は除去が難しい不純物の一つである。我々の事前評価において、イオン交換樹脂と非沸騰型蒸留を比較したところ、イオン交換樹脂がホウ素除去において高い効果を示した。イオン交換樹脂を用いた精製により、PGMEA、NMPのどちらからも、ホウ素とその他の金属不純物を1pptレベルまで低減することができた。
キーワード 電子材料、PGMEA、精製、イオン交換樹脂

Application of Ion Exchange Resin Method on Trace metal Analysis of High Purity Chemicals

媒体 発表
学会・活動名 The Japan Society of Applied Physics
発表者 久野智子
日時 2024/11/13
要旨 電子材料の精製において、電子材料に含まれる微量金属の分析技術は不可欠である。ICP-MSを用いた有機溶媒中の微量金属分析においては、微量金属をほとんど含まない希釈用有機溶媒（ブランク液）を使用することが分析精度を向上させるために重要である。イオン交換樹脂をブランク液精製に応用し、高い効果が得られることを確認した。
キーワード 電子材料、精製、微量分析

Novel Quality Control Method of Ion Exchange Resins for Subsystems

媒体 発表
学会・活動名 ULTRA FACILITY 2024
発表者 椙原健司
日時 2024/10/29-31
要旨 半導体製造プロセスでは、超純水中の金属不純物に対して厳しい管理基準が設定されている。超純水製造用途で使用されるイオン交換樹脂に対して、金属不純物の溶出をpg/Lレベルで評価できる評価手法の開発およびこの評価手法を用いたイオン交換樹脂の性能評価を行った。
キーワード 超純水、微量分析、品質管理、イオン交換樹脂

媒体 発表
学会・活動名 SPIE Advanced Lithography + Patterning
発表者 久野智子
日時 2024/2/25-29
要旨 PGMEA中の金属除去にはオルライトDS-21が効果的であるが、Crを１ppt以下に低減することが出来なかった。 そこでオルライトDS-21に任意の割合で強カチオン樹脂を加え、加水分解反応を抑制しつつ、 Crを１ppt以下に低減する精製方法を開発した。
キーワード 電子材料、PGMEA、精製、イオン交換樹脂

媒体 発表
学会・活動名 36th International Microprocesses and Nanotechnology Conference
発表者 久野智子
日時 2023/11/14-17
要旨 オルライトDS-21（キレートタイプ）は加水分解反応を起こしにくいことから、PGMEA精製に有効な樹脂である。 しかしながら樹脂に含まれる水分が非水液精製における不純物源となることが課題であった。 今回含有水分を低減した乾燥樹脂タイプのオルライトDS-21・DRYを新たに開発し、性能を評価した。
キーワード 電子材料、PGMEA、精製、イオン交換樹脂

Metal removal life test and organic impurity of ion exchange resin

媒体 発表
学会・活動名 ULTRAPURE MICRO 2021
発表者 森野翔太
日時 2021/11/3-5
要旨 IPAの精製において、従来技術であるイオン吸着膜と、当社技術であるイオン交換樹脂との比較評価を行った。イオン交換樹脂はイオン吸着膜よりも高い金属除去性能を示し、かつ長寿命であることを確認した。同時に、イオン交換樹脂からの有機不純物溶出についても評価し、イオン交換樹脂の処理前後で有機不純物が増加していないことを確認した。
キーワード 電子材料、IPA、精製、微量分析

Optimized combination of ion exchange resins for the removal of trace amount of metal impurities from isopropyl alcohol

媒体 発表
学会・活動名 界面ナノ電子化学研究会 第6回ポスター発表展
発表者 森野翔太
日時 2021/10/14
要旨 従来、IPAの精製には強カチオン交換基を有するイオン吸着膜が一般的に用いられるが、Crなどの強カチオン交換基だけでは除去できない金属が存在する。そこで、多価イオンの選択性の高いキレート樹脂、アニオン形態の金属除去が可能なアニオン交換樹脂を、強カチオン交換樹脂と組み合わせることで、IPA中のすべての元素を5ppt以下まで低減することができた。
キーワード 電子材料、IPA、精製、微量分析

化学プロセス分野

触媒用イオン交換樹脂及びモノリス状イオン交換樹脂の紹介

媒体 発表
学会・活動名 東京大学理学系研究科グリーン・サステイナブル・ケミストリー社会連携講座
発表者 加藤歩
日時 2024/07/18　~　2026/3/31
要旨 東京大学連続フロー研究センター展示にてポスターを展示中。
有機化合物の製造においてイオン交換樹脂が触媒として利用されている。イオン交換樹脂の官能基型、母体構造の違いを紹介し、工業での触媒の活用事例を紹介した。
また、当社が開発しているモノリス状イオン交換樹脂と粒状イオン交換樹脂違いや、フロー反応における利用事例を紹介した。
キーワード イオン交換樹脂、触媒、フロー反応

電解液のHF除去によるリチウムイオン電池(LIB)の長寿命化

媒体 発表
学会・活動名 第62回電池討論会
発表者 中村彰
日時 2021/11/30-12/2
要旨 脱炭素社会の実現に向けて、xEV化の流れが加速している。車載用途のLIBには、より長寿命であることが求められるが、電解液中のフッ化水素(HF)がLIBの性能低下を引き起こすことが知られている。当社では、電解液中のHFを<1ppmに低減する技術を開発した。また、HFを低減することで、電解液の分解抑制、正極金属の溶解抑制ができ、LIBが長寿命化できることを見出した。
キーワード リチウムイオン電池、電解液、HF、LIB長寿命化

イオン交換樹脂を用いたリチウムイオン電池(LIB)用電解液の精製技術

媒体 発表
学会・活動名 第34回日本吸着学会研究発表会
発表者 合庭健太
日時 2021/10/14-15
要旨 リチウムイオン電池(LIB)の電解液で使用される主な電解質である六フッ化リン酸リチウム(LiPF6)は、水との反応により分解してフッ化水素(HF)を生成することが知られている。HFは、反応性が高い酸であるため、LIB内を腐食し、電池寿命を低下させる虞がある。当社では、弱塩基性陰イオン交換樹脂(WBAER)を用いて、水分を増加させることなく、電解液中のHFを吸着除去する精製技術を開発した。
キーワード リチウムイオン電池、電解液、HF

イオン交換樹脂を用いたリチウムイオン電池(LIB)用電解液の精製技術

媒体 発表
学会・活動名 化学工学会第52回秋季大会
発表者 合庭健太
日時 2021/9/22-24
要旨 リチウムイオン電池(LIB)の電解液で使用される主な電解質である六フッ化リン酸リチウム(LiPF6)は、水との反応により分解してフッ化水素(HF)を生成することが知られている。HFは、反応性が高い酸であるため、LIB内を腐食し、電池寿命を低下させる虞がある。当社では、弱塩基性陰イオン交換樹脂(WBAER)を用いて、水分を増加させることなく、電解液中のHFを吸着除去する精製技術を開発した。
キーワード リチウムイオン電池、電解液、HF
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